一、概述
sps15擴散硅壓力傳感器和將固態(tài)集成工藝與隔離膜片技術相結合，擴散硅芯片被封裝在充油腔體內(nèi)，并通過不銹鋼膜片和外殼將其與測量介質(zhì)隔離開來，向用戶性價比良好的產(chǎn)品。sps擴散硅系列壓力傳感器應用于了senstable壓阻傳感器技術及溫度補償工藝，將溫度補償電阻環(huán)路在混合陶瓷基片上，范圍寬達0~70℃的溫度補償，在溫度補償范圍內(nèi)測量誤差小于0.75%。本系列可廣泛應用于氣、液壓力的檢測，甚至在惡劣環(huán)境下，如：污水、蒸汽、弱腐蝕性介質(zhì)，仍具有優(yōu)良的性能。

傳感器具有標準的零點輸出和寬廣的溫度補償。高靈敏性，信號輸出的穩(wěn)定性和重復性使之不受振動和沖擊等動態(tài)壓力負載的影響，具有卓越的機械穩(wěn)定性。

這些使得sps15適用于及其惡劣的操作條件，其應用范圍如下：

氣動控制系統(tǒng)

環(huán)境保護

醫(yī)療技術

制冷和空調(diào)系統(tǒng)

水力機械工程

過程控制

常規(guī)測量技術

二、特點

溫度補償和標準的零點輸出

高過載能力

高線性

極好的可重復性

穩(wěn)定性

在振動和沖擊等動壓負載的作用下仍保持良好的堅固性和可靠性

簡單的裝配和信號處理

小巧的尺寸ø15mm

316l不銹鋼的高度抗腐蝕性

長使用壽命

三、技術參數(shù)

供電電流(ma)：1

最大供電電流(ma)：1.5

零點輸出(mv)：±2

滿量程輸出(mv)：200±30

橋臂電阻：5kw±20%

線性：≤0.25%fso

綜合誤差(遲滯性，重復性)：≤0.05%fso

穩(wěn)定性：≤0.1%fso/年

響應時間：＜1.5ms

溫度誤差[%fso]：＜±0.75

補償溫度[℃]：0~70

絕緣阻抗：＞100mw(50vdc）

工作溫度(℃)：-40~+125

補償溫度(℃)：0~+70

抗振動性：10g rms (20~2000hz)

抗沖擊性：100g/11ms

重量：30g

壽命(周期)：＞2e+7

四、量程

0~3.5 mpa

0~7 mpa

0~17 mpa

0~35 mpa

0~70 mpa

五、過載能力

(0~3.5) 7 mpa

(0~7) 14 mpa

(0~17) 34 mpa

(0~35) 70 mpa

(0~70) 100 mpa