fs4000是美國矽翔微機電系統有限公司采用世界領先的微機電系統（mems）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于環境采樣器（如色譜分析儀器等）
fs4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍最大到5slpm；適用于粒子計數器和各類分析儀器。
fs4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍最大到50slpm；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等

產品特點:
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
- 支持多種連接方式，易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點穩定度高 - 全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性 - 低功耗、低壓損 - 響應速度快

fs4003
通 徑 3 mm
最大流量 2, 3, 4, 5slpm
量程比 100:1
精 度 ±(1.5+0.2fs) %
重復性 0.75 %
零點輸出飄移 ±30 mv
輸出飄移 0.12 %/oc
響應時間 100 ms
工作電源 8~18vdc,100ma
輸出方式 線性，rs232/模擬電壓0.5~4.5vdc
最大流量壓損 100 pa
最大工作壓力 0.5 mpa
工作溫度 -10 ~ +55 oc
存儲溫度 -20 ~ +65 oc
工作濕度 <95%rh（無結冰、無凝露）
機械接口 bspt1/4(r1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭
校準方式 空氣（或其他氣體），20oc，101.325kpa
重量 57（帶r1/4,bspt1/4接口）
71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)

fs4008
通 徑8 mm
最大流量10, 20, 30, 40, 50 slpm
量程比 100:1
精 度 ±(1.5+0.2fs) %
重復性 0.75 %
零點輸出飄移 ±30 mv
輸出飄移 0.12 %/oc
響應時間 100 ms
工作電源 8~18vdc,100ma
輸出方式 線性，rs232/模擬電壓0.5~4.5vdc
最大流量壓損600 pa
最大工作壓力 0.5 mpa
工作溫度 -10 ~ +55 oc
存儲溫度 -20 ~ +65 oc
工作濕度 <95%rh（無結冰、無凝露）
機械接口 bspt1/4(r1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭
校準方式 空氣（或其他氣體），20oc，101.325kpa
重量 57（帶r1/4,bspt1/4接口）
71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)